Om Xzero AB

Xzero AB har utvecklat ett system för produktion av högrent vatten för halvledartillverkning.

Bakgrund

Halvledarindustrin tillverkar processorer och minnen för elektronikindustrin. Vid tillverkningen av minnen och processorer mäts toleranserna i nanometer.

En normalstor halvledarfabrik använder cirka 1000 kubikmeter vatten per dag. Vattnet används för att skölja bort överblivet material och etsmedel i lager efter lager i en halvledare (chipsen) allteftersom den byggs upp. Chipsen är huvudkomponenter i all elektronik (minnen eller processorer).

Ingen annan industri har lika höga krav på vattnets renhet. Varje jon, virus eller partikel som blir kvar kan orsaka en kortslutning eftersom avståndet mellan de ledande ”trådarna” i de halvledarna som nu är standard är mindre än en hundratusendels millimeter.

För att inte få störningar och föroreningar i processerna måste man ha avancerade renrum och ett absolut rent processvatten – ultrarent vatten, UPW – Ultra Pure Water.

Idag används mycket sofistikerade vattensystem som består av ett tjugotal reningssteg och ett tiotal olika tekniker. Xzero kan göra lika rent vatten med fyra steg och fyra olika tekniker vilket gör processen säkrare. Xzeros teknik kan också möta upp mot eventuella framtida krav på ännu högre renhet.

De nuvarande systemen är känsliga för variationer i råvattnet och kan därför inte använda förbrukat sköljvatten som råvatten. Xzeros system kan enkelt återanvända förbrukat sköljvatten. Detta är av stor betydelse eftersom stora värden står på spel om reningen fallerar.

Under tillverkningen av halvledare (processorer och minnen), även kallade datachips, måste dessa sköljas minst 100 gånger. Med nuvarande teknik renas sköljvattnet i 15-20 olika steg innan det blir tillräckligt rent för att kunna användas. Förbrukningen av ultrarent vatten i en sådan fabrik ligger på mellan 2 och 4,8 miljoner liter per dygn.

I Xzeros system avlägsnas först flyktiga föroreningar från vattnet genom avgasning. Därefter förångas vattnet genom ett vattentätt membran. De icke-flyktiga föroreningarna blir kvar i ett koncentrat som kan indunstas. Systemet är enklare och effektivare än andra system.

Se Information om halvledare för en detaljerad beskrivning av halvledartillverkning.